産品白皮書(shū)
EAP-設備自動化系統
基于⼯業(yè)互聯⽹的(de)設備聯機
半導體前道整體⾃動化⽣産設備的(de)全⾯的(de)⾃動聯機接⼊,包含CVD、PVD、光(guāng)刻、ETCH、WET、IMP、測試設備,從⽽提升設備⽣産效率(OEE),降低設備維護成本,降低設備能(néng)耗,實現設備的(de)實時監控和(hé)調整 , 設備及⽣産全過程數據采集。連接MES和(hé)相(xiàng)關的(de)⽣産信息系統,實現跨平台數據集成,打破數據壁壘并解決設備數據孤島。
基于⼯業(yè)⼤數據的(de)⽣産運營改進
僅對曆史數據進⾏分(fēn)析和(hé)處理(lǐ),通過基礎數據的(de)分(fēn)析進⾏設備和(hé)⽣産的(de)可(kě)預防性維護和(hé)改進,從⽽提升⽣産運營的(de)效率,改進⼯藝流程,降低⽣産成本。通過多維度的(de)實時和(hé)曆史⼤數據分(fēn)析挖掘和(hé)透視,爲公司決策,⽣産運營,設備管理(lǐ),現場(chǎng)管理(lǐ)提供全⽅位的(de)數據分(fēn)析和(hé)決策⽀持,爲半導體前道⼯業(yè)4.0和(hé)智能(néng)⼯⼚的(de)實現打下堅實基礎。
質量和(hé)客戶滿意度提升
滿⾜客戶對現場(chǎng)的(de)完整的(de)全⾯追溯的(de)要求,通過對真實的(de)質量數據進⾏提取和(hé)分(fēn)析,⼤幅改進⽣産的(de)質量,提升客戶滿意度和(hé)半導體前道的(de)品牌價值和(hé)競争⼒。
EAP
設備自動化系統
DC
數采中心
BC/LC
生産管理(lǐ)信息化管理(lǐ)系統
MCS
物(wù)流控制(zhì)管理(lǐ)系統
TMS
測試管理(lǐ)系統
哥瑞利EAP©是滿足半導體前道、封測的(de)工(gōng)廠(chǎng)自動化系統,是連接半導體設備與上(shàng)遊系統的(de)橋梁。
SECS
PLC
RV
DOS 共享
EAP Daemon
MQ
Data Collection Platform,數據采集平台。
DC可(kě)以通過協議上(shàng)報/文(wén)件(jiàn)/數據庫等多種方式獲取設備的(de)狀态/警報/設備運行(xíng)參數/闆件(jiàn)信息等。并根據對應規則進行(xíng)解析入庫轉發其他(tā)系統。也(yě)可(kě)根據配置對設備參數範圍進行(xíng)管控,實時監控。
主要功能(néng)
文(wén)檔采集
協議采集
數據庫采集
參數check與報警
1. 數據連接管理(lǐ)
含數據協議連接設置、文(wén)檔采集設置等模塊
數據連接協議設置:可(kě)配置化實現PLC(OPC)、SECS、HTTP、SOCKET、KAFKA、RV、RabbitMQ這些協議,建立連接;并可(kě)控制(zhì)采集頻率
設備下發控制(zhì)設置:可(kě)通過配置化實現多系統多種協議之間的(de)轉換實現自動控制(zhì)進行(xíng)設備參數下發
文(wén)件(jiàn)采集設置:可(kě)配置化标注采集模版後定時自動根據标記将同類文(wén)件(jiàn)數據采集入庫
數據庫采集設置:可(kě)配置源數據庫表和(hé)目标數據庫表,通過調度方式顯現實現采集
2. 數據轉換存儲設置
含消息映射設置、消息存儲設置等模塊;
消息映射設置:自助檢索配置各種來源的(de)消息,支持消息拆解/合并/轉換等功能(néng)
消息存儲設置:自助配置多種消息的(de)關聯消息轉數據表存儲設置,Scada數據設置,同消息不同存儲設置等
支持一鍵自動生成配置,無需手動操作
3. 數據展示
自動直觀的(de)實時監控整廠(chǎng)所以設備的(de)運行(xíng)情況,監控産品Wafer的(de)作業(yè)情況等信息
4. 對外數據服務
含有(yǒu)爲上(shàng)遊第三方系統提供不通形式的(de)數據,通過北向功能(néng)可(kě)通過配置化實現數據的(de)多存儲多轉發(http/kafka)等
DC的(de)優勢
采集方式豐富
支持工(gōng)業(yè)标準數據采集協議,支持互聯網标準數據傳輸協議
BC/LC是生産管理(lǐ)信息化管理(lǐ)系統。該系統通過設備與MES等上(shàng)位系統實現數據收集,傳輸,工(gōng)藝自動化控制(zhì)等。通過系統化方案減少(shǎo)人(rén)力、提高(gāo)産能(néng)。系統主要廣泛應用(yòng)與半導體、LCD、PCB、光(guāng)伏等行(xíng)業(yè)。
BC/LC 系統架構說明(míng)
BC/LC 系統功能(néng)
TMS軟件(jiàn)是EAP平台的(de)業(yè)務子系統,通過TMS軟件(jiàn)可(kě)以實時監控測試類設備的(de)測試過程與測試結果,将測試結果進行(xíng)彙總與分(fēn)析, 達到(dào)實時良率管控,低良
率停機的(de)客戶需求。同時TMS可(kě)根據業(yè)務需求将分(fēn)析及整合後的(de)數據上(shàng)報給MES系統,并提供測試數據查詢與圖表分(fēn)析。
TMS主要用(yòng)于測試數據解析、分(fēn)析、圖表、上(shàng)報等常規作用(yòng)功能(néng);可(kě)延伸出測試良率管控實時報警以及追溯等功能(néng)。
測試數據記錄:通過下遊設備上(shàng)報測試進站,以及出站時主動解析測試數據,統一存儲。
測試數據詳情:提供統一格式查看Summary文(wén)件(jiàn),包括數量、bin的(de)描述,以及機台名等,簡潔統一的(de)界面能(néng)夠幫助員工(gōng)快速上(shàng)崗及工(gōng)程人(rén)員的(de)快捷數據查詢。
上(shàng)傳下載:可(kě)主動上(shàng)次測試文(wén)件(jiàn)解析,也(yě)可(kě)下載已經解析的(de)測試文(wén)件(jiàn)。
圖表數據:詳情展示測試數據,包含文(wén)件(jiàn)信息、測試項、圖表、BIN MAP圖。
文(wén)件(jiàn)信息:解析後文(wén)件(jiàn)主要信息。
測試項:測試文(wén)件(jiàn)包含每個(gè)測試項的(de)詳細信息展示。
圖表:根據測試項已經測試值通過,直方圖、箱線圖、趨勢圖、熱(rè)力圖、散點圖等圖表方式展示可(kě)供更隻管觀察測試數據統計(jì)。
BIN MAP:展示SBin、HBin圖示數據,更直觀展示出Fail、Pass等測試顆粒坐标。