分(fēn)布式結構的(de)集束設備控制(zhì)平台軟件(jiàn)
組件(jiàn)化、可(kě)視化開(kāi)發
符合半導體設備行(xíng)業(yè)标準的(de)軟件(jiàn)框架
高(gāo)度可(kě)定制(zhì)化
Win7/8/10、Linux等操作系統,支持跨平台
配置工(gōng)具
配置文(wén)件(jiàn)
擴展庫
.NET
調度
GUI組件(jiàn)
配方檢查
平台本身可(kě)根據用(yòng)戶的(de)特定需求，進行(xíng)擴展
系統内置通用(yòng)調度引擎
Material-Driven,根據wafer等物(wù)料的(de)實時狀态,産生調度指令
遵循SEMI标準定義的(de)模型,便于集成FA
Process/Control Job
可(kě)按單元配置優先級
支持外部模塊(比如(rú)光(guāng)刻機)
仿真計(jì)算模式
可(kě)定制(zhì)化
優先策略、路(lù)徑調整
特定任務
Clean、Dummy、Mapping等
系統内置通用(yòng)調度引擎
多節點分(fēn)布式IO服務
IO和(hé)Memory類型變量
持久化存儲
表達式計(jì)算功能(néng)
聯鎖(Interlock)功能(néng)
輸出檢查(OUT_CHECK)
輸出聯動(OUT_ACTION)
輸入檢查(IN_CHECK)
IO配置工(gōng)具
支持浏覽、編輯、監控等
驅動庫和(hé)枚舉值配置管理(lǐ)
仿真模式
CTF
磐石平台
IEQ
設備通訊轉換模塊
磐石平台
爲半導體設備專門設計(jì)的(de)國産設備軟件(jiàn)平台，支持跨平台部署，分(fēn)布式部署，模塊化設計(jì)，插件(jiàn)化，支持GUI自由組态創建，方便擴展，支持定制(zhì)，輔助設備廠(chǎng)商快速推出設備
CTF （Cluster Tool Framework) 磐石平台
FA (Fab Automation) 磐石平台FA模塊，對接Fab自動化系統（EAP系統或者MES系統
關鍵設備技術(shù)受制(zhì)于外，需加速國産化進程以确保供應鏈安全與穩定
競争激烈，國産設備廠(chǎng)商需提升技術(shù)實力與影響力
市場(chǎng)對設備的(de)需求日益多樣化，要求快速響應與定制(zhì)化服務
高(gāo)額研發成本與專業(yè)人(rén)才不足限制(zhì)了技術(shù)突破與創新能(néng)力
加速設備産品上(shàng)市提供設備軟件(jiàn)配套，縮短設備廠(chǎng)商GTM時間，快速響應市場(chǎng)
提升客戶體驗軟件(jiàn)穩定，開(kāi)放(fàng)源代碼支持定制(zhì)開(kāi)發，滿足個(gè)性化需求，軟件(jiàn)售後有(yǒu)保障
自主可(kě)控軟件(jiàn)國産化，減少(shǎo)外部依賴，多家12寸Fab廠(chǎng)成熟案例驗證，确保系統可(kě)控與安全
半導體
通過iEQ将PLC或闆卡數據轉換成标準SECS/GEM,并與上(shàng)位系統建立通信使上(shàng)位系統能(néng)夠做到(dào)對設備的(de)信息交流、數據采集、流程控制(zhì)等響應的(de)功能(néng)需求。
即插即用(yòng),配置簡單
安裝部署簡單,即插即用(yòng);通過WebClient端進行(xíng)配置，功能(néng)強大(dà)、配置靈活,實時生效
功能(néng)強大(dà)、系統穩定、性能(néng)高(gāo)效
全面兼容SECS/GEM标準功能(néng)接口,7x24小(xiǎo)時不間斷穩定運行(xíng),數據傳輸性能(néng)高(gāo)
接口豐富,兼容性好
提供多種連接方式,包含RJ45、USB、RS232、RS485、RS422等工(gōng)業(yè)接口
支持主流PLC,多種通訊協議
支持多家主流PLC廠(chǎng)商,包括三菱、歐姆龍、西(xī)門子、基恩士等。涵蓋了MC協議、Fins協議、S7協議、Modbus協議、TCP/IP協議、串口協議等常用(yòng)設備通訊協議
拓展性好,方便定制(zhì)
預留豐富接口,支持Restful、WebService、Socket、Datebase等交互方式
深度集成,設備标準化
與設備深度集成,提供标準的(de)SECS/GEM接口,可(kě)直接與EAP/MES等上(shàng)位系統進行(xíng)無縫集成,實現信息傳輸、數據收集、流程控制(zhì)等功能(néng)
半導體
PCB
