哥瑞利自主研發的(de)LOFA（Light Off Factory Assistant黑(hēi)燈工(gōng)廠(chǎng)助理(lǐ)）已成功應用(yòng)于OM（Optical Microscope，光(guāng)學顯微鏡）設備中，在半導體12寸制(zhì)造領域取得的(de)重要成果。LOFA通過其高(gāo)度自動化的(de)解決方案，專注于将FAB工(gōng)廠(chǎng)OQA（Outgoing Quality Assurance，出廠(chǎng)質量保證）部門的(de)全部工(gōng)作流程自動化，爲整個(gè)FAB廠(chǎng)的(de)無人(rén)化進程補上(shàng)了最重要的(de)一塊拼圖。
在解決這些行(xíng)業(yè)痛點的(de)道路(lù)上(shàng)，很多廠(chǎng)商都(dōu)進行(xíng)過嘗試，但(dàn)無一例外都(dōu)失敗了，原因在于傳統純軟件(jiàn)的(de)解決方案無法替代人(rén)眼去采集wafer的(de)信息，采集過程中如(rú)何覆蓋wafer的(de)晶面、晶背、晶邊也(yě)是個(gè)難題，此外如(rú)何精準對采集到(dào)的(de)defect進行(xíng)分(fēn)類，也(yě)需要很強的(de)defect分(fēn)類經驗。
針對難點 工(gōng)程師(shī)是如(rú)何進行(xíng)拆解 1. 代替操作員的(de)眼睛 哥瑞利研發工(gōng)程師(shī)經過多次調研設計(jì)，研究出了針對不同機台的(de)定制(zhì)硬件(jiàn)擴充方案。在對機台沒有(yǒu)侵入的(de)前提下，在三個(gè)不同的(de)位置加裝高(gāo)精度光(guāng)源和(hé)相(xiàng)機，全方位檢測晶圓。 2. 代替操作員的(de)動作 在機台端加裝PLC控制(zhì)，實現對機台旋鈕、搖杆等物(wù)理(lǐ)操作工(gōng)具的(de)虛拟替代。再接入LOFA-Bots，可(kě)是實現由LOFA-Bots自動對焦、自動旋轉Wafer等操作。 3. 代替操作員的(de)大(dà)腦(nǎo) LOFA-AI模塊利用(yòng)先進的(de)圖像識别技術(shù)，通過深度學習(xí)，以及在半導體行(xíng)業(yè)積累的(de)Defect分(fēn)類經驗，可(kě)以實現OM Defect的(de)自動精準分(fēn)類。分(fēn)類成功率可(kě)達百分(fēn)之95%以上(shàng)。
僅僅做到(dào)這些還不夠，哥瑞利又(yòu)發現傳統的(de)FAB都(dōu)是将OM的(de)結果手動上(shàng)傳DN（Defect Notice系統），存在效率低，易出錯的(de)問題。于是哥瑞利結合自身一站式CIM供應商的(de)平台整合優勢，打通整個(gè)流程，做到(dào)Auto上(shàng)傳DN，Auto Ink，甚至Auto 生成出貨報告。成功實現OQA的(de)流程全部自動化。
最終，LOFA 在OM的(de)場(chǎng)景中實現了軟硬件(jiàn)和(hé)多系統平台的(de)完美(měi)結合。
LOFA Bots 實現的(de)具體功能(néng) 自動上(shàng)下貨 Recipe自動選擇 自動宏觀檢查 自動氣槍除塵 自動微觀檢查 自動缺陷分(fēn)類 缺陷異常的(de)自動處理(lǐ)和(hé)紀錄 缺陷數據自動上(shàng)傳DN系統及出貨系統
收益成效實例 某半導體12寸前道客戶實操反饋 LOFA成功上(shàng)線後，OM機台能(néng)夠自動完成晶圓缺陷的(de)識别與評估，并支持遠程監控與控制(zhì)。 操作界面簡潔直觀，管理(lǐ)人(rén)員能(néng)夠随時随地(dì)實時輕松掌握生産狀況并進行(xíng)相(xiàng)應的(de)操作。 LOFA上(shàng)線後，減少(shǎo)MA人(rén)員，進一步提升生産效率和(hé)成本效益。
哥瑞利LOFA在12寸工(gōng)廠(chǎng)OM場(chǎng)景的(de)成功應用(yòng)，是今年在黑(hēi)燈工(gōng)廠(chǎng)智慧生産和(hé)AI自動化領域的(de)一大(dà)探索，已上(shàng)線多台的(de)案例也(yě)充分(fēn)展示了哥瑞利在半導體制(zhì)造自動化領域的(de)領先地(dì)位和(hé)技術(shù)與前沿科技的(de)快速結合。實力同時我們也(yě)因應産業(yè)端的(de)迫切需求，推出除了OM、WAT 外的(de)其他(tā)機台應用(yòng)，譬如(rú)CP、CD-SEM、Review-SEM、Die Saw等，等在未來也(yě)會(huì)逐步推廣至更多的(de)應用(yòng)場(chǎng)景。哥瑞利将持繼續緻力于推動半導體制(zhì)造行(xíng)業(yè)的(de)智能(néng)化和(hé)無人(rén)化進程，爲先進制(zhì)造廠(chǎng)商全球客戶提供更加高(gāo)效、可(kě)靠的(de)解決方案和(hé)技術(shù)支持。
