2021年11月(yuè)1-3日,第24屆中國集成電路(lù)制(zhì)造年會(huì)暨供應鏈創新發展大(dà)會(huì)(CICD 2021)在廣州黃(huáng)埔君瀾酒店(diàn)圓滿舉辦!CICD是中國集成電路(lù)制(zhì)造領域最具規模和(hé)影響力的(de)研討(tǎo)會(huì)之一,此次大(dà)會(huì)以“新開(kāi)局,新挑戰,芯生機,芯活力”爲主題,涵蓋高(gāo)峰論壇、專題論壇、展覽展示交流會(huì)等活動,來自集成電路(lù)制(zhì)造産業(yè)鏈1600多名業(yè)界精英出席盛會(huì)。
在“IC制(zhì)造生态發展論壇”中,上(shàng)海(hǎi)哥瑞利軟件(jiàn)股份有(yǒu)限公司産品總監師(shī)偉堂,爲大(dà)家帶來了專題演講——智能(néng)化錯誤偵測與分(fēn)類系統iFDC在半導體制(zhì)造中的(de)數據分(fēn)析應用(yòng),快來看一看吧(ba)(以下有(yǒu)幹貨,建議收藏!)
演講精彩瞬間↑
01 何謂iFDC
iFDC(Intelligent Fault Detection & Classification)系統:
● 實時監控生産關鍵指标數據,快速并準确地(dì)發現生産問題。
● 異常生産狀态實時報警通知。
● 離(lí)線分(fēn)析數據,快速找到(dào)問題根因,提高(gāo)數據分(fēn)析效率10倍以上(shàng)。
02 iFDC應用(yòng)案例
晶圓制(zhì)造中的(de)常見問題應當如(rú)何應對?
● 機差分(fēn)析
AI模型分(fēn)析可(kě)以快速找到(dào)機台差異的(de)關鍵影響參數,将分(fēn)析時間從常規的(de)4-6小(xiǎo)時縮短至10-30分(fēn)鍾
● 産品差異分(fēn)析
AI模型分(fēn)析可(kě)以快速找到(dào)産品品質差異的(de)關鍵影響參數,提高(gāo)尋找Root Cause的(de)效率。
● 産能(néng)分(fēn)析
AI模型分(fēn)析可(kě)以快速找到(dào)影響産能(néng)的(de)關鍵生産單元,爲提升産能(néng)提供分(fēn)析依據。
03 iFDC未來展望
● 更快
毫秒級的(de)數據收集、巨量設備的(de)對接和(hé)高(gāo)效的(de)數據處理(lǐ)及快速的(de)分(fēn)析方法
● 更高(gāo)
超越基礎的(de)Fault Detection & Classification功能(néng),擁抱大(dà)數據分(fēn)析
● 更強
借助虛拟函數建模、多種大(dà)數據分(fēn)析算法,強化數據分(fēn)析功能(néng),豐富應用(yòng)場(chǎng)景的(de)拓展,解放(fàng)工(gōng)程師(shī)的(de)人(rén)力
● 更團結
給CIM系統的(de)其他(tā)子系統提供豐富的(de)數據源,共同爲生産制(zhì)造提高(gāo)産能(néng)、提升良率